五金零件加工的刀具误差丈量的误差，工艺系统的热变形误差。工件，刀具的热变形，切削热，磨擦热，附带热等，所以很多精细机床都是安放在怛温车间，CNC精密零件加工定做，(慢走丝机床，非标cnc精密零件加工，CNC机床等等).工件内应力惹起的变形其中切削加工中的剩余应力使工件产生朔性变形。

因而为减小原始误差形成的加工精度，我们通常会想到机床停止自车，自铣，自磨，自割来尽量挽回原始误差形成的加工误差。如用旧的铣床加工外形为200*20*400的铝合金产品各面的平行度，垂直度，平面度，在0.03之内，CNC精密零件加工中心，又如用精度不高的车床加工巧长轴，又如用旧的线切割机床加工内外圆同轴度在0.02之内的套类零件等等.当我们以为机械加工精度在无可驾驭的时分我们就要想到采取可以采取自车，自铣，自磨，自割这些办法来解除。

超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，CNC精密零件加工，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力，保证高度的尺寸稳定性，防止加工后发生变形。

精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

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